CAractérisation Sans Contact des MICROsystèmes – CASC-MICRO

Plateforme rattachée au laboratoire Roberval

Caractérisation sans contact des microsystèmes :

• Microscopie par interférométrie
• Stéréo-microscope
• Interféromètre à mesure de distance
• Spectromètre
• Capteur de distance à Fibre Optique (CFO)
• Caméras thermiques
• Capteur de déplacement